MPS Microsystems entwickelt fortschrittliche Komponenten und Systeme für verschiedene anspruchsvolle Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Dank unseren Kompetenzen in den Bereichen Fertigung, Montage und Sauberkeit sind unsere Lösungen unverzichtbare Bestandteile von Halbleiterinspektionssystemen und Wafer-Bearbeitungsanlagen.
Wir betreuen komplexe Projekte von der Idee bis zur Serienfertigung und arbeiten mit unserem umfangreichen Netzwerk renommierter Partner zusammen, um Systeme anzubieten, die die Grenzen des Möglichen erweitern. So ermöglichen wir maßgeschneiderte Lösungen, die sich durch Präzision, Dynamik und Reinheit auszeichnen.
Zum Heben und Ausrichten von Wafer und Pedestal entwickelt MPS ein System, in dem Mechanik, Antrieb und Positionsrückmeldung aufeinander abgestimmt sind.
Die Auslegung richtet sich nach Last, Hub und Positionieranforderungen sowie dem verfügbaren Bauraum. Besonderes Augenmerk gilt den Bauteilen, die Vakuum oder Temperaturschwankungen ausgesetzt sind, und den mechanischen sowie steuerungstechnischen Schnittstellen zur Anlage.
Für mehrlagige Baugruppen für die Halbleiterinspektion verbinden wir Präzisionsfertigung mit Mikromontage im ISO 5-Reinraum. Diese Erfahrung nutzen wir für Komponenten und Baugruppen innerhalb von Elektronenstrahlsäulen. Je nach Aufgabenstellung fertigen wir nach Ihren Zeichnungen oder entwickeln die Prozesse, mit denen sich die geforderte Geometrie und Reinheit erreichen lassen.
Auf Basis unserer optomechanischen Plattformen entwickeln wir kundenspezifische Systeme für die Linsenpositionierung in Inspektions- und Messköpfen der Halbleiterindustrie.
Welcher Mechanismus sich eignet, hängt vom optischen Aufbau und der bewegten Masse ab. Führung, Antrieb und Positionsrückmeldung legen wir auf den erforderlichen Verfahrweg und die geforderte Einschwingzeit aus. Dabei achten wir besonders auf unerwünschte seitliche Bewegungen und Winkeländerungen.
Für Kammerbauteile mit eng tolerierten Schnittstellen oder hohen Anforderungen an die Oberflächenbeschaffenheit - beispielsweise eine Gasverteilerplatte - bieten wir Präzisions- und Feinbearbeitung an. Anhand Ihrer Zeichnung oder Bauteilanforderungen prüfen wir die Geometrie, die Werkstoffe und die Bedingungen, denen das Bauteil im Prozess ausgesetzt ist. Daraus leiten wir eine geeignete Fertigungsfolge ab.
Im Laufe der Jahre haben wir ein großes Netzwerk akademischer Partner aufgebaut, mit denen wir zusammenarbeiten, um bahnbrechende Lösungen zu entwickeln.
• PSI - Paul Scherrer Institut
• EPFL - École Polytechnique Fédérale Lausanne
• ETHZ - Eidgenössische technische Hochschule Zürich
• HES-SO - Haute école supérieure de Suisse occidentale
• OST - Ostschweizer Hochschule
• Universität Bern
• CSEM - Centre Suisse d'Électronique et de Microtechnique
• EMPA - Eidgenössische Materialprüfungs- und Forschungsanstalt
