MPS Microsystems conçoit des systèmes de positionnement sur mesure et des composants de haute précision pour les fabricants d’équipements de l’industrie des semi-conducteurs. Nos compétences en fabrication, assemblage et propreté font de nos solutions des atouts incontournables dans les équipements d'inspection de semi-conducteurs et de positionnement de wafer de nos clients.
Nous gérons des projets complexes de l'idée à la production en série et travaillons avec notre vaste réseau de partenaires réputés pour proposer des systèmes qui repoussent les limites du possible. Nous permettons ainsi des solutions sur mesure qui se distinguent par leur précision, leur dynamisme et leur niveau de propreté.
Réunissant mécanisme, actionnement et retour de position dans un même système, MPS développe des systèmes de levage et d'alignement de wafer et pedestal comprenant jusqu'à 6 axes et offrant une précision de positionnement de ±1 µm. Chacun des moteurs entraîne une came pour ajuster la hauteur et l'inclinaison. Le système de positionnement de wafer et de pedestal est capable de produire une course de ±2 mm et une inclinaison de ±2°.
Nous le dimensionnons selon la charge à déplacer, la course et les exigences de positionnement tout en tenant compte de l’encombrement disponible. La conception intègre les contraintes de vide et de température auxquelles certaines pièces sont exposées ainsi que les interfaces mécaniques et de commande avec votre équipement.
Pour les composants multicouches destinées à l’inspection des semi-conducteurs, nous associons fabrication de précision et micro-assemblage en environnement ultra-propre. Nous appliquons ce savoir-faire aux colonnes à faisceau d'électrons. Selon vos besoins, nous fabriquons ces éléments à partir de vos plans ou développons les procédés nécessaires pour obtenir la géométrie et la propreté requises.
À partir de nos plateformes coaxiales et à bobine mobile, nous développons des systèmes de positionnement de lentilles pour les têtes d’inspection et de métrologie des semi-conducteurs.
Le choix du mécanisme dépend de votre configuration optique et de la masse à déplacer. Nous adaptons le guidage, l’actionnement et le retour de position à la course et au temps de stabilisation requis et accordons une attention particulière aux déplacements latéraux et angulaires parasites.
Nos capacités d’usinage et de finition de haute précision s’appliquent aux pièces pour chambres de traitement qui exigent des interfaces à tolérances serrées ou des états de surface répondant à des critères stricts, par exemple des plaques de diffusion de gaz.
Nous étudions vos plans et vos exigences pour définir une gamme de fabrication adaptée à la géométrie, aux matériaux et aux conditions auxquelles le procédé expose la pièce.
Assemblage en salles blanches ISO 5 et ISO 7
Nous assemblons et conditionnons vos composants en salles blanches ISO 5 et ISO 7 selon vos exigences de propreté. Pour les applications nécessitant un haut niveau de propreté, nous proposons l’étuvage sous ultravide suivi d’une analyse GC-MS de la contamination organique.
Au coeur et à la pointe de la microtechnique
Dans nos vastes parcs machines, le décolletage, le fraisage et l’électroérosion, la rectification, le rodage, le polissage et bien d'autres procédés font partie de nos compétences maîtrisées. Nos ingénieurs de production cherchent toujours à tirer le maximum de nos équipements pour vous offrir la meilleure solution. Grâce à cela, nous pouvons atteindre une précision dimensionnelle submicrométrique et une rugosité Ra < 0.1 µm.
Performance fiable, prête pour l'intégration
Nous vous livrons un système fonctionnel et testé qui réunit mécanique, actionnement et retour de position, le tout vérifié selon les spécifications convenues. Nous optimisons précision de positionnement, stabilisation et durée de vie selon vos conditions d’utilisation. Des interfaces mécaniques, électriques et de commande adaptées à votre équipement réduisent le travail que vos ingénieurs consacrent à son intégration.
Un partenaire pour toute la durée de vie du produit
Un chef de projet dédié coordonne développement, industrialisation et série, avec des points réguliers sur l’avancement, les coûts et les décisions. Lorsque des difficultés apparaissent, nous étudions ensemble les options. En production, nous gérons les évolutions techniques et les améliorations du produit, tout en planifiant les approvisionnements à long terme.
Présentez-nous la fonction que doit assurer votre pièce ou votre sous-ensemble, ses conditions d’utilisation et les volumes de production envisagés. Nous pourrons examiner vos exigences avec votre équipe pour déterminer les travaux d’ingénierie et de fabrication nécessaires.
Ivica Tolich
Business Development Manager - Semiconductor
+1 408 476 7973
Ivica.tolich(a)mpsag.com
Au fil des années, nous avons développé un grand réseau de partenaires académiques avec lequel nous collaborons sur pour développer des solutions à la pointe de la technologie.
• PSI - Paul Scherrer Institut
• EPFL - École Polytechnique Fédérale Lausanne
• ETHZ - Eidgenössische technische Hochschule Zürich
• HES-SO - Haute école supérieure de Suisse occidentale
• OST - Ostschweizer Hochschule
• Université de Berne
• CSEM - Centre Suisse d'Électronique et de Microtechnique
• EMPA - Laboratoire fédéral d'essai des matériaux et de recherche
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