Nanometrischer Linearantrieb
Der nanometrische Linearantrieb von MPS ist ein Positioniersystem mit hoher Kraft, das für Anwendungen entwickelt wurde, die eine Präzision von weniger als einem Mikrometer erfordern. Er nutzt einen Schrittmotor in Kombination mit einer Leitspindel und einem biegungsbasierten Mechanismus, um feine inkrementelle Bewegungen ohne die Reibung oder den Verschleiß herkömmlicher Lager zu erzielen.
Kernmerkmale:
Hub | +/- 100 μm |
Höchstgeschwindigkeit, unbeladen | 1.4 mm/s |
Antriebskraft | 500 N |
Wiederholgenauigkeit (open loop) | 1 μm |
Minimale inkrementelle Bewegung | 0.05 μm |
Dimensionen | 75 (L) x 55 (W) x 32 (H) mm |
| Motortyp | Scrhittmotor |
| Motorregulierung | Open loop |
| Antriebsmechanismus | Leitspindel |
| Referenzpunkt | Optische Barriere |
Die Technologie von MPS Microsystems basiert auf modularen optomechanischen Antriebsplattformen für eine präzise Positionierung der Linsen entlang verschiedener Achsen: axial (Z-Achse), seitlich (X- und/oder Y-Achse), rotationsbezogen (Tip-Tilt) oder in Kombination. Jede kundenspezifische Lösung ist eine skalierte Anpassung unserer Kerntechnologieplattform, wodurch Entwicklungszeit und -kosten erheblich reduziert werden.
Folgende Komponenten können individuell angepasst werden:
• Auswahl des Motors entsprechend den Anforderungen an Frequenz, Geschwindigkeit und Beschleunigung
• Kugelgewindetrieb oder Nocken-Design sowie die Wahl der Kugellager gemäß dem erforderlichen Hub
• Typ des Encoders und Controllers passend zur benötigten Auflösung
• Maßliche Anpassungen für eine perfekte Übereinstimmung mit dem optischen Design
• Adapter für die präzise Positionierung feststehender Linsen
• Bälge für höchste Reinheit
