Inspektionssystems für die Halbleiterfertigung
Seit kurzem hat sich MPS Microsystems auf die Herstellung und die ultrareine Montage von mehrschichtigen Komponenten für Halbleiterprüfgeräte spezialisiert. Diese Geräte ermöglichen eine drastische Beschleunigung der Inspektion von Retikeln und Wafern, die aufgrund der explosionsartig gestiegenen Nachfrage nach elektronischen Geräten eine entscheidende Rolle spielen. Diese Komponenten, die in einer Ultrahochvakuumumgebung eingesetzt werden, müssen eine außergewöhnlich hohe Reinheit aufweisen.
Um den Anforderungen dieses anspruchsvollen Marktes gerecht zu werden, werden mehrere Arbeitsschritte an diesen kritischen Komponenten in unserem ISO 5 Reinraum durchgeführt. Nach dem Hartlöten der verschiedenen Schichten erreichen die Teile durch Aufheizen unter Ultrahochvakuum (UHV) und eine GC-MS-Analyse den erforderlichen Reinheitsgrad. Nach der Magnetisierung erfolgt die Montage auf einer Keramikplatte mit einer Genauigkeit von ± 2 µm.
Seit 2023 betreibt MPS einen Reinraum der Klasse ISO 5 für die Montage ultrareiner Komponenten. Er wurde speziell für die hohen Anforderungen der Halbleiter- und Elektronikbranche entwickelt und ist eine unverzichtbare Einrichtung, um eine Kontamination empfindlicher Teile zu verhindern.
Dieser Raum, in dem die Partikeldichte und die organische Kontamination extrem niedrig sind, wird für Arbeiten wie Hartlöten, Ausheizen unter Ultrahochvakuum, GC-MS-Analyse, Magnetisierung und vieles mehr genutzt.
